光电检测作为光学与电子学相结合而产生的一门新兴检测技术，具有精度高、速度快、非接触、寿命长、易于自动化和智能化等优点。其主要通过光学系统把待检测的非电量信息变换成为便于接受的光学信息，然后用光电探测器件将光学信息量转换为电信号输，从而了解待检测物的光电性能。基于光电扫描测量技术的多模态光电检测显微镜，兼容了极紫外-太赫兹波段的激发光源，通过振镜和电动位移台相结合的扫描方式，可以在亚微米分辨率下，实现待测物在变温环境中的光电流和光电压、拉曼光谱、荧光寿命等多种特征信号的测试，从而实现在多个维度对待测物进行相应的光电表征。当前，由于多模态光电检测显微镜具有高度灵活的测试维度和兼容众多主流和仪器仪表，使其被广泛应用于科学研究、光伏器件检测、材料微加工和激光改性、定制化检测等众多领域。