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Miracle Vision 3D显微镜

3D成像显微镜

• 表面粗糙度重复精度高达0.1 nm

 

• 垂直方向测量精度可达1 nm

 

• 支持样品尺寸可达1000 mm及以上

 

产品介绍

神影 Miracle Vision系列提供了非接触的表面形貌测量,具有极高的可重复性,可广泛应用于半导体芯片、光学透镜、金属表面、汽车涂层、MEMS器件等广泛精密加工行业的形貌、粗造度长度、曲率、深度、体积、颗粒分布等形貌测量,同样适用于航天、医疗、材料、科学研究领域。可检测各种粗糙度、各种反射率的器件表面,检测器件的表面尺寸从纳米、微米到毫米,都可由同一台设备完成,提供主流的国内外标准下,上百种测量参数,将观测细节可视化、数据化,一次完成。

景深融合-清晰的2D成像

由于物镜的小分辨率和长焦深不能由单次拍照获得。为了能够观察到长焦深范围内小尺寸特征和结构,托托科技采用景深融合技术,一次性观察不同焦深的高分辨率图像。

景深延拓-景深延拓3D成像

景深延拓通过分析不同焦点高度处的对比度变化,实现对物体的三维表面测量和特征描述,能够详细检查物体表面,并以长景深的方式获取精确的三维成像。

白光干涉形貌仪-纳米级的3D形貌量测

白光干涉形貌仪是一种快速且高分辨率的技术,用于大范围的表面拓扑测量,能够实现亚纳米级分辨率的重建。

끂资料下载

应用案例

  • 半导体领域
  • 材料科学领域
  • 纳米技术领域
  • 光学元件领域
  • 半导体领域

    半导体领域

    在半导体制造过程中,白光干涉显微镜可以用来测量芯片表面的形貌,检测缺陷和杂质,对于确保芯片的质量和性能以及优化工艺参数等方面具有重要意义。

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  • 材料科学领域

    材料科学领域

    在材料科学研究中,白光干涉显微镜可用于分析材料表面的微观结构和形貌变化,研究材料的力学性能和表面特性,推动材料科学的进步与发展。

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  • 纳米技术领域

    纳米技术领域

    在纳米技术研究中,白光干涉显微镜可用于测量纳米结构和纳米材料的表面形貌,探索纳米材料的性质和应用。

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  • 光学元件领域

    光学元件领域

    在光学元件制造过程中,白光干涉显微镜可用于测量光学元件表面的形貌和光学特性,为光学系统的设计和优化提供关键数据,确保光学元件的精度和性能。

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