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多模态光电显微镜

光电分析和微加工设备

• 超宽光源及光谱兼容性                 • 兼容超低温及磁学测量

• 支持光电流成像、荧光光谱、拉曼光谱、荧光寿命测试、飞秒激光微区加工五种模式

 

 

产品介绍

烛龙™系列中的多模态光电显微镜是一台具有超高稳定性的多功能光电综合测试和微加工系统,可根据客户需求提供多种灵活可选的配置和方案。系统集成了电动运动台和振镜的扫描方式,可实现瞬态和稳态下的光电流测试和扫描成像,荧光寿命测试和扫描成像,拉曼光谱测试,二次谐波测试,荧光光谱采集,发射和吸收等光谱端的测试和扫描成像。除此之外,整套系统可搭配飞秒脉冲激光器和我司自主研发的低温系统进行相关的变温测试以及器件表面的微加工和缺陷标记。多模态光电显微镜将为众多新质生产力领域提供强大的支持,助力国内相关领域的发展和科技创新。

超宽的多波长激发光源

- 极紫外-太赫兹波段的超宽谱线覆盖范围(266nm-0.8THz)

- 多种可选的稳态光源和瞬态光源

- 提供激光功率和频率的软件控制

多功能测试样平台

- 支持直流,交流以及高频探针

(漏电流<100fA)

- 支持常温和变温下的引线键合测试(10K-450K)

- 支持常温和变温下的探针测试

(77K-450K)

- 兼容2450,4200,6221等多种源表

- 兼容OE1201,SR810等多种锁相放大器

多功能测试和微加工模组

- 支持光电流测试和扫描成像

- 支持二次谐波和电致发光测试

- 支持器件表面的微加工和缺陷标记

- 支持电动位移台和振镜的多种扫描方式

- 支持荧光寿命和拉曼光谱测试和扫描成像

끂 资料下载

应用案例

  • 太阳能电池的表征和测试
  • 二维材料的表征和测试
  • 发光材料的表征和测试
  • 材料微加工和激光改性
  • 太阳能电池的表征和测试

    太阳能电池的表征和测试

    基于太阳能电池内半导体材料PN结处产生的光生伏特效应,快速检测其产生的电流或电压可以有效地进行器件光电性能的表征和缺陷定位。无论是第一代硅基太阳能电池和第二代多元化合物薄膜太阳能电池,还是以钙钛矿太阳能电池和量子点太阳能电池为代表的第三代新型太阳能电池。通过测试其产生的光生电压和光生电流信号可以有效地提供电池内部电场的动态分布,电荷传输和复合动力学等丰富的信息,为如何提高太阳能电池的光电转换效率和揭示器件内部工作机制提供有效的表征手段。
    ● 可实现对亚微米及以上器件进行光电流信号的扫描成像

    ● 可在样品的任意区域内进行变温测试

    ● 可在不同激发波长下进行器件偏振特性的研究

    ● 支持对不同三端器件进行光电流信号的采集和表征

  • 二维材料的表征和测试

    二维材料的表征和测试

    二维材料具有超高的载流子迁移率,通过改变厚度以及不同元素之间的掺杂,可以有效地调控其能带结构,从而展现出众多优异的光电特性。例如窄带隙二维材料由于具有栅极可调控的载流子类型以及对红外光谱的高灵敏响应,因此在红外光电探测器中表现出了巨大的应用潜力。所以,如何对二维材料进行相关特性的表征,通过光致发光扫描的方式,可以在很高的空间分辨率下,实现不同异质结构下更高的荧光量子效率和可调谐光谱共振,来快速实现对二维材料器件的非接触式表征。
    ● 可实现在宽波段激发光源下对待测材料的响应特性研究并获得其白光反射谱

    ● 可同时实现对待测材料光电流信号和光致发光光谱信号的扫描

    ● 可实现对二维材料二次谐波信号的表征

    ● 可在不同偏振态下实现对二维材料拉曼特性的扫描和表征 - 可以在极高的扫描空间分辨率下实现对亚微米级样品的光电扫描

  • 发光材料的表征和测试

    有机发光材料和无机发光材料的表征和测试

    面对新型平板显示和固体照明技术的需求,对发光材料的不断研究成为了推动显示和照明产业升级换代的重要基础。其中,无机金属卤化物发光材料和有机发光材料因荧光量子产率高、发射光谱窄、波长可调等优异特性而备受关注。因此,通过使用荧光寿命测试和成像的方式,可以有效地对发光材料进行高分辨率下的表征,最终得到物理性质更好的发光材料,这为生物成像、辐射探测、光催化等领域提供了潜在的应用前景。
    ● 可同时实现对发光材料光致发光光谱信号和荧光寿命的测试和扫描成像

    ● 可在不同偏振态下实现对发光材料拉曼特性的扫描和表征

    ● 可获得发光材料的发射光谱和吸收光谱

    ● 可在发光材料的任意区域内进行变温测试

  • 材料微加工和激光改性

    材料微加工和激光改性

    新型材料由于其原子级的厚度和高结合能,可调带和谷电子学等独特的性质,引起了人们的广泛关注。特别是二维材料,由于各种二维材料在各个物理特性方面各有优劣,因此,配合成熟的飞秒激光加工方案,通过激光改性的方式,可以有效地突破材料原有属性的制约,改变其原有的光学特性和表面浸润性,促进材料对不同波长的光吸收率,提高其电磁屏蔽等性能。除此之外,还可以通过调节飞秒激光器的功率,以打点或扫面等多种方式在材料表面加工呈周期性的微结构和激光标记,进而实现对材料表面性质的调控和缺陷点的标记,来为环境工程、航空航天、半导体检测以及生物医学领域提供潜在的新型应用。
    ● 可以提供运动台式飞秒加工和Galvo扫描振镜的飞秒加工方案,实现对材料表面的快速加工和改性

    ● 提供友好的加工操作软件,可以实现客户对各种材料表面的自定义加工

    ● 可对半导体晶圆和电子电路器件进行缺陷点的标记

    ● 可实现对纳米材料的合成和光栅、光波导以及微透镜等光子晶体器件的加工

    ● 提供友好的加工操作软件,可以实现客户在各种材料下的自定义加工

视频展示

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系统高度自动化

- 电动显微聚焦

- 多种可选的光采集模式

- 瞬态和稳态光源和光路的电动切换

- 线偏振光和圆偏振光的电动偏振测试

中国办公室

托托科技(苏州)有限公司

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