三维光学轮廓仪

神影 MV-1000 / MV-7000系列

3D Optical Profilometer

·Z轴分辨率高达0.1nm

·粗糙度重复性RMS 0.003nm

·台阶重复性0.1%（2.97μm），0.08%（10μm）

不同于传统仪器在分辨率和稳定性之间做取舍，这款产品同时实现了0.1纳米级分辨能力和0.003纳米的粗糙度重复性；而在台阶测量场景下，从细微结构到大跨度形貌，全量程范围内都能维持高度一致的测量稳定性。

从细微起伏到大跨度台阶，数据始终可信

技术参数

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独立测头

拓展无限可能

托托科技提供高度集成化设计结构的独立式测量探头。

光学系统、电子控制单元及数据处理模块内置于探头本体，仅保留数据与电源两个外部接口，极大简化系统部署与集成流程，安装灵活。

配套提供SDK(软件开发工具包)，支持调用多模式测量功能，适用于各类样品表面特征的自动化测量任务。

纳米级 (~nm)

超精密表面的微粗糙度、

亚纳米级划痕、

... ...

微米级 (~μm)

微纳结构的特征高度、

体积、面积、周长、

刻蚀深度、

... ...

毫米级 (~mm)

周期结构的重复性测量、

超大面型拼接、断口形貌、

... ...

覆盖纳米级至毫米级

表面形貌分析

放置样品，轻点鼠标，AI算法自动定位样品焦面。

为使样品处于最佳拍摄水平位置，AI算法会自动调节运动台俯仰角，直至样品表面完全水平。

加工幅面自由选择

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支持 线粗糙度、面粗糙度、高度、深度、宽度、角度、面积、体积等多种几何参数精准测量。

所有测量结果均可一键导入自定义报告模版，生成规范、清晰的检测报告，便于数据存档与追溯。