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定义微纳尺度的全链路标准

加工→检测,贯穿每一环

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灵活高效的微纳图案制备技术

实现从设计到成品的“所见即所得”

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高清成像,

洞悉半导体微观缺陷本质

助力半导体制程质控、良率优化与前沿器件研发落地

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