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Miracle Inspection系列显微镜
晶圆检测显微镜
①高效的工作模式 ②“交钥匙”式晶圆检查解决方案 ③实时测量，提供准确数据 ④丰富的物镜选项 ⑤智能快速的自动对焦 ⑥智能高效的激光缺陷标记 ⑦导航图预览、图纸对比、准确定位 ⑧第三方兼容，实现晶圆自动搬运
产品介绍
Miracle Inspection系列显微镜在基于蔡司光学的基础上，采用了模块化的设计方式。通过电动位移台和各个功能模块之间的相互配合，在实现对晶圆级样品自动上下料的同时，可在多个维度上对其进行加工选择和自动检测，从而高质量的完成客户的需求，并一键式自动生成测试报告，实现整套工作流程的一致性朔源。
景深融合-清晰的2D成像
由于物镜的小分辨率和长焦深不能由单次拍照获得。为了能够观察到长焦深范围内小尺寸特征和结构，托托科技采用景深融合技术，一次性观察不同焦深的高分辨率图像。
景深延拓-景深延拓3D成像
景深延拓通过分析不同焦点高度处的对比度变化，实现对物体的三维表面测量和特征描述，能够详细检查物体表面，并以长景深的方式获取精确的三维成像。
白光干涉形貌仪-纳米级的3D形貌量测
白光干涉形貌仪是一种快速且高分辨率的技术，用于大范围的表面拓扑测量，能够实现亚纳米级分辨率的重建。
应用案例
视频展示
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