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Miracle Inspection系列显微镜

晶圆检测显微镜

①高效的工作模式   ②“交钥匙”式晶圆检查解决方案   ③实时测量,提供准确数据   ④丰富的物镜选项   ⑤智能快速的自动对焦   ⑥智能高效的激光缺陷标记   ⑦导航图预览、图纸对比、准确定位   ⑧第三方兼容,实现晶圆自动搬运

产品介绍

Miracle Inspection系列显微镜在基于蔡司光学的基础上,采用了模块化的设计方式。通过电动位移台和各个功能模块之间的相互配合,在实现对晶圆级样品自动上下料的同时,可在多个维度上对其进行加工选择和自动检测,从而高质量的完成客户的需求,并一键式自动生成测试报告,实现整套工作流程的一致性朔源。

“交钥匙”式晶圆检查解决方案

通过集成人体工学设计、远程控制和强大软件,提供简便的全流程检测解决方案,帮助客户专注于业务决策,避免技术细节的干扰。

智能快速的自动对焦

通过自动对焦模块和高效协同的硬件配置,解决手动调焦问题,为科研与工业检测提供高质量输入,推动全自动高保真分析。

智能高效的激光缺陷标记

通过双激光标记模块,实现精准检测与物理标识的结合,构建闭环质检体系,为智能制造提供可追溯的数字化孪生锚点。

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应用案例

  • 半导体领域
  • 材料科学领域
  • 纳米技术领域
  • 光学元件领域
  • 半导体领域

    半导体领域

    在半导体制造过程中,白光干涉显微镜可以用来测量芯片表面的形貌,检测缺陷和杂质,对于确保芯片的质量和性能以及优化工艺参数等方面具有重要意义。

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  • 材料科学领域

    材料科学领域

    在材料科学研究中,白光干涉显微镜可用于分析材料表面的微观结构和形貌变化,研究材料的力学性能和表面特性,推动材料科学的进步与发展。

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  • 纳米技术领域

    纳米技术领域

    在纳米技术研究中,白光干涉显微镜可用于测量纳米结构和纳米材料的表面形貌,探索纳米材料的性质和应用。

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  • 光学元件领域

    光学元件领域

    在光学元件制造过程中,白光干涉显微镜可用于测量光学元件表面的形貌和光学特性,为光学系统的设计和优化提供关键数据,确保光学元件的精度和性能。

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