【高精度光栅尺反馈】
采用非接触、超高精度的光学编码器，以极高的精度直接在运动平台上进行位置测量，通过这种全闭环控制方式，精研装调工序，使运动台可以做到10 nm步进，100 nm重复定位的高水平，另外可根据客户需要，提供更高精度运动控制产品。
【线性直驱电机】
此类电机为磁力直接驱动，无回程差，同时省去了动力传动系统中的复杂繁琐的机械部件，并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台，可实现高速度和高加速度。动力传动机构中，螺杆的回程差和长期使用的磨损，会因此类电机而不复存在，具有长期高精度保持性。
高性能直驱电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，电机无力波纹，即使在很低的速度下也能保持平稳的运行，具有高动态响应特性，同时，在高速状态下也不会产生振动，避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。可任意设定和严格控制驱动力，具有极高的力的线性度。
即插即用，自动识别运动台并做参数调整，可极大的降低系统集成时间和制造成本。
产品主要应用于半导体、微电子制造、生物医疗，光谱光电流等领域，具有更加高效、更加稳定、更加智能等特点，同时可根据客户需求，研发，制造更高精度、更加灵活的系统解决方案。
【关键技术指标】
【应用领域】
【产品尺寸图】
